बोरॉन ट्रायक्लोराईड (BCl3)हे एक अजैविक संयुग आहे जे सामान्यतः अर्धवाहक उत्पादनात कोरड्या एचिंग आणि रासायनिक वाष्प निक्षेपण (CVD) प्रक्रियेत वापरले जाते. हा रंगहीन वायू आहे ज्याला खोलीच्या तपमानावर तीव्र तीक्ष्ण वास येतो आणि तो आर्द्र हवेला संवेदनशील असतो कारण तो हायड्रोक्लोरिक आम्ल आणि बोरिक आम्ल तयार करण्यासाठी हायड्रोलायझ करतो.

बोरॉन ट्रायक्लोराईडचे वापर

अर्धवाहक उद्योगात,बोरॉन ट्रायक्लोराईडहे प्रामुख्याने अॅल्युमिनियमच्या कोरड्या एचिंगसाठी आणि सिलिकॉन वेफर्सवर पी-प्रकारचे क्षेत्र तयार करण्यासाठी डोपंट म्हणून वापरले जाते. ते GaAs, Si, AlN सारख्या पदार्थांना एचिंग करण्यासाठी आणि विशिष्ट विशिष्ट अनुप्रयोगांमध्ये बोरॉन स्रोत म्हणून देखील वापरले जाऊ शकते. याव्यतिरिक्त, बोरॉन ट्रायक्लोराइडचा वापर धातू प्रक्रिया, काच उद्योग, रासायनिक विश्लेषण आणि प्रयोगशाळेतील संशोधनात मोठ्या प्रमाणात केला जातो.

बोरॉन ट्रायक्लोराईडची सुरक्षितता

बोरॉन ट्रायक्लोराईडहे संक्षारक आणि विषारी आहे आणि डोळ्यांना आणि त्वचेला गंभीर नुकसान पोहोचवू शकते. ते दमट हवेत हायड्रोलायझेशन करून विषारी हायड्रोजन क्लोराइड वायू सोडते. म्हणून, हाताळताना योग्य सुरक्षा उपाय करणे आवश्यक आहे.बोरॉन ट्रायक्लोराईडज्यामध्ये संरक्षक कपडे, गॉगल आणि श्वसन संरक्षण उपकरणे घालणे आणि हवेशीर वातावरणात काम करणे समाविष्ट आहे.