बोरॉन ट्रायक्लोराईड (बीसीएल 3)सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये कोरड्या एचिंग आणि रासायनिक वाष्प जमा (सीव्हीडी) प्रक्रियेमध्ये सामान्यतः वापरला जाणारा अजैविक कंपाऊंड आहे. खोलीच्या तपमानावर मजबूत तेजस्वी गंध असलेला हा रंगहीन वायू आहे आणि दमट हवेसाठी संवेदनशील आहे कारण हायड्रोक्लोरिक acid सिड आणि बोरिक acid सिड तयार करण्यासाठी हायड्रोलाइझ करते.

बोरॉन ट्रायक्लोराईडचे अनुप्रयोग

सेमीकंडक्टर उद्योगात,बोरॉन ट्रायक्लोराईडप्रामुख्याने अ‍ॅल्युमिनियमच्या कोरड्या एचिंगसाठी आणि सिलिकॉन वेफर्सवर पी-प्रकार प्रदेश तयार करण्यासाठी डोपंट म्हणून वापरले जाते. याचा उपयोग जीएएएस, एसआय, एएलएन आणि विशिष्ट विशिष्ट अनुप्रयोगांमध्ये बोरॉन स्रोत म्हणून तयार करण्यासाठी देखील केला जाऊ शकतो. याव्यतिरिक्त, बोरॉन ट्रायक्लोराईडचा वापर मेटल प्रोसेसिंग, ग्लास उद्योग, रासायनिक विश्लेषण आणि प्रयोगशाळेच्या संशोधनात मोठ्या प्रमाणात केला जातो.

बोरॉन ट्रायक्लोराईडची सुरक्षा

बोरॉन ट्रायक्लोराईडसंक्षारक आणि विषारी आहे आणि डोळे आणि त्वचेचे गंभीर नुकसान होऊ शकते. विषारी हायड्रोजन क्लोराईड वायू सोडण्यासाठी हे दमट हवेमध्ये हायड्रोलाइझ करते. म्हणून, हाताळताना योग्य सुरक्षा उपाययोजना करणे आवश्यक आहेबोरॉन ट्रायक्लोराईडसंरक्षणात्मक कपडे, गॉगल आणि श्वसन संरक्षण उपकरणे परिधान करणे आणि हवेशीर वातावरणात कार्य करणे यासह.