हायड्रोजन क्लोराईडहा रंगहीन वायू आहे ज्याला तीव्र वास येतो. त्याच्या जलीय द्रावणाला हायड्रोक्लोरिक आम्ल म्हणतात, ज्याला हायड्रोक्लोरिक आम्ल असेही म्हणतात. हायड्रोजन क्लोराइड पाण्यात खूप विरघळते. ०°C तापमानावर, १ खंड पाणी सुमारे ५०० खंड हायड्रोजन क्लोराइड विरघळवू शकते.

त्यात खालील गुणधर्म आणि वैशिष्ट्ये आहेत:

१. उच्च शुद्धता

इलेक्ट्रॉनिक ग्रेडची शुद्धताहायड्रोजन क्लोराईडसेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेत कोणत्याही अशुद्धतेचा समावेश होणार नाही याची खात्री करण्यासाठी, ते खूप जास्त असते, सहसा पीपीएम किंवा त्यापेक्षा कमी पातळीवर.

२. जडत्व

हा एक रासायनिकदृष्ट्या निष्क्रिय वायू आहे जो इतर अनेक पदार्थांशी प्रतिक्रिया देत नाही, जो अर्धसंवाहक पदार्थ आणि उपकरणांचे दूषित होणे रोखण्यासाठी खूप महत्वाचे आहे.

३. उच्च स्थिरता

इलेक्ट्रॉनिक ग्रेडहायड्रोजन क्लोराईडविश्वसनीय अर्धवाहक प्रक्रिया सुनिश्चित करण्यासाठी सामान्यतः स्थिर रसायनशास्त्र असते.

अर्धवाहक प्रक्रियेत, इलेक्ट्रॉनिक ग्रेड हायड्रोजन क्लोराईडचे मुख्य उपयोग हे आहेत:

१. पृष्ठभागाची स्वच्छता आणि तयारी

एक कार्यक्षम पृष्ठभाग क्लिनर म्हणून, इलेक्ट्रॉनिक ग्रेडहायड्रोजन क्लोराईडएपिटॅक्सियल थर किंवा फिल्मची गुणवत्ता आणि शुद्धता सुनिश्चित करण्यासाठी सब्सट्रेट पृष्ठभागावरून ऑक्साईड आणि अशुद्धता काढून टाकण्यासाठी वापरले जाते.

२. एपिटॅक्सियल वाढ मदत

एपिटॅक्सियल प्रक्रियेत पृष्ठभाग उपचार एजंट म्हणून वापरले जाणारे, ते एपिटॅक्सियल थराची गुणवत्ता सुधारण्यास, जाळी जुळणी सुधारण्यास आणि जाळी दोषांची निर्मिती कमी करण्यास मदत करते.

३. सब्सट्रेट प्रीट्रीटमेंट

अर्धवाहक उपकरणे तयार करण्यापूर्वी, इलेक्ट्रॉनिक ग्रेडहायड्रोजन क्लोराईडएपिटॅक्सियल थर आणि सब्सट्रेटमधील आसंजन सुधारण्यासाठी स्थिर आधार तयार करण्यासाठी सब्सट्रेट पृष्ठभागावर उपचार करण्यासाठी वापरले जाऊ शकते.

४. सहाय्यक एजंटची नियुक्ती

रासायनिक वाष्प निक्षेपण (CVD) किंवा भौतिक वाष्प निक्षेपण (PVD) प्रक्रियेत, इलेक्ट्रॉनिक ग्रेड हायड्रोजन क्लोराईडचा वापर अर्धसंवाहक पदार्थांच्या निक्षेपण अभिक्रियेत सहभागी होण्यासाठी गॅस फेज ट्रान्सफर माध्यम म्हणून केला जाऊ शकतो.

५. गॅस-फेज ट्रान्सफर एजंट

गॅस-फेज ट्रान्सफर एजंट म्हणून, इतर वायू पूर्वसूचक पदार्थ अभिक्रिया कक्षात आणले जातात जेणेकरून पदार्थाचा निक्षेपण दर आणि एकरूपता समायोजित करण्यास मदत होईल.

या वैशिष्ट्यांमुळे इलेक्ट्रॉनिक ग्रेड बनतोहायड्रोजन क्लोराईडसेमीकंडक्टर तंत्रज्ञानातील एक महत्त्वाचा प्रक्रिया एजंट, ज्याचा अंतिम उपकरणाच्या कामगिरीवर आणि विश्वासार्हतेवर महत्त्वाचा प्रभाव पडतो.

सेमीकंडक्टर प्रक्रियेत वापरण्याव्यतिरिक्त, इलेक्ट्रॉनिक ग्रेड हायड्रोजन क्लोराईडचे इतर क्षेत्रांमध्ये विविध उपयोग होऊ शकतात, ज्यात समाविष्ट आहे: उच्च शुद्धता सामग्रीची तयारी, इंधन पेशी, सेमीकंडक्टर सामग्रीची वाढ, वाष्प टप्प्यातील लिथोग्राफी, सामग्री विश्लेषण, रासायनिक संशोधन.

सर्वसाधारणपणे, इलेक्ट्रॉनिक ग्रेडहायड्रोजन क्लोराईडहा एक बहुमुखी, उच्च शुद्धता असलेला वायू आहे ज्याचे अर्धसंवाहक उत्पादनाबाहेर विस्तृत अनुप्रयोग आहेत.