हायड्रोजन क्लोराईडतीक्ष्ण गंध असलेला रंगहीन गॅस आहे. त्याच्या जलीय द्रावणास हायड्रोक्लोरिक acid सिड म्हणतात, ज्याला हायड्रोक्लोरिक acid सिड देखील म्हणतात. हायड्रोजन क्लोराईड पाण्यात खूप विद्रव्य आहे. 0 डिग्री सेल्सिअस तापमानात, पाण्याचे 1 प्रमाण हायड्रोजन क्लोराईडच्या सुमारे 500 खंड विरघळवू शकते.

यात खालील गुणधर्म आणि वैशिष्ट्ये आहेत:

1. उच्च शुद्धता

इलेक्ट्रॉनिक ग्रेडची शुद्धताहायड्रोजन क्लोराईडसेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग प्रक्रियेत कोणतीही अशुद्धता आणली जात नाही हे सुनिश्चित करण्यासाठी सामान्यत: पीपीएम किंवा खालच्या स्तरावर खूप उच्च आहे.

2. जडत्व

हा एक रासायनिक जड वायू आहे जो इतर अनेक पदार्थांशी प्रतिक्रिया देत नाही, जो अर्धसंवाहक साहित्य आणि उपकरणे दूषित होण्यापासून रोखण्यासाठी खूप महत्वाचा आहे.

3. उच्च स्थिरता

इलेक्ट्रॉनिक ग्रेडहायड्रोजन क्लोराईडविश्वसनीय अर्धसंवाहक प्रक्रिया सुनिश्चित करण्यासाठी सामान्यत: स्थिर रसायनशास्त्र असते.

सेमीकंडक्टर प्रक्रियेमध्ये, इलेक्ट्रॉनिक ग्रेड हायड्रोजन क्लोराईडच्या मुख्य अनुप्रयोगांमध्ये हे समाविष्ट आहे:

1. पृष्ठभाग साफसफाई आणि तयारी

एक कार्यक्षम पृष्ठभाग क्लीनर, इलेक्ट्रॉनिक ग्रेड म्हणूनहायड्रोजन क्लोराईडएपिटॅक्सियल लेयर किंवा फिल्मची गुणवत्ता आणि शुद्धता सुनिश्चित करण्यासाठी सब्सट्रेट पृष्ठभागावरील ऑक्साईड्स आणि अशुद्धी काढून टाकण्यासाठी वापरला जातो.

2.पिटॅक्सियल ग्रोथ एड

एपिटॅक्सियल प्रक्रियेमध्ये पृष्ठभाग उपचार एजंट म्हणून वापरले जाते, हे एपिटॅक्सियल लेयरची गुणवत्ता सुधारण्यास, जाळीची जुळणी सुधारण्यास आणि जाळीच्या दोषांची निर्मिती कमी करण्यास मदत करते.

3. सब्सट्रेट प्रीट्रेटमेंट

सेमीकंडक्टर डिव्हाइस तयार करण्यापूर्वी, इलेक्ट्रॉनिक ग्रेडहायड्रोजन क्लोराईडएपिटॅक्सियल लेयर आणि सब्सट्रेट दरम्यानचे आसंजन सुधारण्यासाठी स्थिर बेस तयार करण्यासाठी सब्सट्रेट पृष्ठभागावर उपचार करण्यासाठी वापरले जाऊ शकते.

4. उपयोजन सहाय्यक एजंट

रासायनिक वाष्प जमा (सीव्हीडी) किंवा भौतिक वाष्प जमा (पीव्हीडी) च्या प्रक्रियेत, इलेक्ट्रॉनिक ग्रेड हायड्रोजन क्लोराईड सेमीकंडक्टर सामग्रीच्या जमा प्रतिक्रियेत भाग घेण्यासाठी गॅस फेज ट्रान्सफर माध्यम म्हणून वापरला जाऊ शकतो.

5. गॅस-फेज ट्रान्सफर एजंट

गॅस-फेज ट्रान्सफर एजंट म्हणून, सामग्रीचे जमा दर आणि एकसारखेपणा समायोजित करण्यात मदत करण्यासाठी इतर वायूचे पूर्ववर्ती प्रतिक्रिया चेंबरमध्ये सादर केले जातात.

ही वैशिष्ट्ये इलेक्ट्रॉनिक ग्रेड बनवतातहायड्रोजन क्लोराईडसेमीकंडक्टर तंत्रज्ञानामधील एक महत्त्वपूर्ण प्रक्रिया एजंट, ज्याचा अंतिम डिव्हाइसच्या कार्यक्षमतेवर आणि विश्वासार्हतेवर महत्त्वपूर्ण परिणाम होतो.

सेमीकंडक्टर प्रक्रियेच्या वापराव्यतिरिक्त, इलेक्ट्रॉनिक ग्रेड हायड्रोजन क्लोराईड इतर भागात विविध उपयोग शोधू शकतो, यासह: उच्च शुद्धता साहित्य, इंधन पेशी, सेमीकंडक्टर मटेरियल ग्रोथ, वाफ फेज लिथोग्राफी, सामग्री विश्लेषण, रासायनिक संशोधन.

सर्वसाधारणपणे, इलेक्ट्रॉनिक ग्रेडहायड्रोजन क्लोराईडसेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगच्या बाहेर विस्तृत अनुप्रयोग असलेल्या अष्टपैलू, उच्च शुद्धता गॅस आहे.