इलेक्ट्रॉनिक स्पेशल गॅसच्या घरगुती प्रतिस्थापन योजनेला सर्वांगीण गती देण्यात आली आहे!

2018 मध्ये, एकात्मिक सर्किट्ससाठी जागतिक इलेक्ट्रॉनिक गॅस बाजार US$ 4.512 अब्ज पर्यंत पोहोचला, जो वर्षभरात 16% ची वाढ झाली. सेमीकंडक्टरसाठी इलेक्ट्रॉनिक स्पेशल गॅस उद्योगाचा उच्च वाढीचा दर आणि प्रचंड बाजारपेठेमुळे इलेक्ट्रॉनिक स्पेशल गॅसच्या घरगुती प्रतिस्थापन योजनेला वेग आला आहे!

इलेक्ट्रॉन वायू म्हणजे काय?

इलेक्ट्रॉनिक वायू म्हणजे सेमीकंडक्टर, फ्लॅट पॅनेल डिस्प्ले, प्रकाश-उत्सर्जक डायोड, सौर पेशी आणि इतर इलेक्ट्रॉनिक उत्पादनांच्या निर्मितीमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या मूलभूत स्त्रोत सामग्रीचा संदर्भ देते आणि साफसफाई, कोरीव काम, फिल्म तयार करणे, डोपिंग आणि इतर प्रक्रियांमध्ये मोठ्या प्रमाणावर वापरले जाते. इलेक्ट्रॉनिक गॅसच्या मुख्य अनुप्रयोग क्षेत्रांमध्ये इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग, सौर सेल, मोबाइल संप्रेषण, कार नेव्हिगेशन आणि कार ऑडिओ आणि व्हिडिओ सिस्टम, एरोस्पेस, लष्करी उद्योग आणि इतर अनेक क्षेत्रांचा समावेश आहे.

इलेक्ट्रॉनिक विशेष वायूला त्याच्या स्वतःच्या रासायनिक रचनेनुसार सात श्रेणींमध्ये विभागले जाऊ शकते: सिलिकॉन, आर्सेनिक, फॉस्फरस, बोरॉन, मेटल हायड्राइड, हॅलाइड आणि मेटल अल्कोक्साइड. इंटिग्रेटेड सर्किट्समधील वेगवेगळ्या ऍप्लिकेशन पद्धतींनुसार, ते डोपिंग गॅस, एपिटॅक्सी गॅस, आयन इम्प्लांटेशन गॅस, प्रकाश-उत्सर्जक डायोड गॅस, एचिंग गॅस, रासायनिक वाष्प निक्षेपण वायू आणि शिल्लक वायूमध्ये विभागले जाऊ शकते. सेमीकंडक्टर उद्योगात 110 पेक्षा जास्त युनिट विशेष वायू वापरल्या जातात, त्यापैकी 30 पेक्षा जास्त सामान्यतः वापरल्या जातात.

सामान्यतः, सेमीकंडक्टर उत्पादन उद्योग वायूंना दोन प्रकारांमध्ये विभाजित करतो: सामान्य वायू आणि विशेष वायू. त्यापैकी, सामान्यतः वापरल्या जाणाऱ्या वायूचा संदर्भ केंद्रीकृत पुरवठ्याचा असतो आणि भरपूर वायू वापरतो, जसे की N2, H2, O2, Ar, He, इ. विशेष वायू अर्धसंवाहक उत्पादनाच्या प्रक्रियेत वापरल्या जाणाऱ्या काही रासायनिक वायूंचा संदर्भ घेतात, जसे की विस्तार, आयन इंजेक्शन, ब्लेंडिंग, वॉशिंग आणि मास्क तयार करणे, ज्याला आपण आता इलेक्ट्रॉनिक विशेष वायू म्हणतो, जसे की उच्च-शुद्धता SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, इ.

सेमीकंडक्टर उद्योगाच्या संपूर्ण उत्पादन प्रक्रियेत, चिपच्या वाढीपासून ते अंतिम डिव्हाइस पॅकेजिंगपर्यंत, जवळजवळ प्रत्येक दुवा इलेक्ट्रॉनिक विशेष वायूपासून अविभाज्य आहे, आणि वापरलेल्या वायूची विविधता आणि उच्च दर्जाची आवश्यकता आहे, म्हणून इलेक्ट्रॉनिक गॅसमध्ये अर्धसंवाहक सामग्री असते. "अन्न".

अलिकडच्या वर्षांत, चीनचे प्रमुख इलेक्ट्रॉनिक घटक जसे की सेमीकंडक्टर आणि डिस्प्ले पॅनेलची नवीन उत्पादन क्षमता वाढली आहे आणि इलेक्ट्रॉनिक रासायनिक सामग्रीच्या आयात प्रतिस्थापनाची जोरदार मागणी आहे. सेमीकंडक्टर उद्योगात इलेक्ट्रॉनिक वायूंचे स्थान अधिकाधिक प्रमुख बनले आहे. देशांतर्गत इलेक्ट्रॉनिक गॅस उद्योग वेगाने वाढेल.

इलेक्ट्रॉनिक स्पेशल गॅसला शुद्धतेसाठी खूप जास्त आवश्यकता असते, कारण शुद्धता आवश्यकतेनुसार नसल्यास, इलेक्ट्रॉनिक स्पेशल गॅसमधील पाण्याची वाफ आणि ऑक्सिजन यांसारखे अशुद्धता गट सेमीकंडक्टरच्या पृष्ठभागावर सहजपणे ऑक्साईड फिल्म तयार करतात, ज्याचा परिणाम होतो. इलेक्ट्रॉनिक उपकरणांचे सेवा जीवन, आणि इलेक्ट्रॉनिक विशेष गॅसमध्ये अशुद्धतेचे कण अर्धसंवाहक शॉर्ट सर्किट आणि सर्किटचे नुकसान होऊ शकतात. असे म्हटले जाऊ शकते की शुद्धता सुधारणे ही इलेक्ट्रॉनिक उपकरणांच्या उत्पादनाच्या उत्पादनात आणि कार्यक्षमतेमध्ये महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावते.

सेमीकंडक्टर उद्योगाच्या सतत विकासासह, चिप उत्पादन प्रक्रिया सुधारत राहते आणि आता ती 5nm पर्यंत पोहोचली आहे, जी मूरच्या नियमाच्या मर्यादेपर्यंत पोहोचली आहे, जी मानवी केसांच्या व्यासाच्या एक विसाव्या भागाच्या समतुल्य आहे ( सुमारे 0.1 मिमी). म्हणूनच, हे अर्धसंवाहकांनी तयार केलेल्या इलेक्ट्रॉनिक विशेष वायूच्या शुद्धतेवर उच्च आवश्यकता देखील पुढे ठेवते.