इलेक्ट्रॉनिक स्पेशल गॅसच्या घरगुती पर्यायी योजनेला सर्वांगीण गती देण्यात आली आहे!

२०१८ मध्ये, एकात्मिक सर्किट्ससाठी जागतिक इलेक्ट्रॉनिक गॅस बाजारपेठ ४.५१२ अब्ज अमेरिकन डॉलर्सवर पोहोचली, जी वर्षानुवर्षे १६% वाढ आहे. सेमीकंडक्टरसाठी इलेक्ट्रॉनिक स्पेशल गॅस उद्योगाचा उच्च विकास दर आणि प्रचंड बाजारपेठ आकारामुळे इलेक्ट्रॉनिक स्पेशल गॅसच्या देशांतर्गत प्रतिस्थापन योजनेला गती मिळाली आहे!

इलेक्ट्रॉन गॅस म्हणजे काय?

इलेक्ट्रॉनिक गॅस म्हणजे सेमीकंडक्टर, फ्लॅट पॅनल डिस्प्ले, प्रकाश उत्सर्जक डायोड, सौर पेशी आणि इतर इलेक्ट्रॉनिक उत्पादनांच्या निर्मितीमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या मूलभूत स्त्रोत सामग्रीचा संदर्भ देते आणि स्वच्छता, एचिंग, फिल्म निर्मिती, डोपिंग आणि इतर प्रक्रियांमध्ये मोठ्या प्रमाणावर वापरले जाते. इलेक्ट्रॉनिक गॅसच्या मुख्य अनुप्रयोग क्षेत्रांमध्ये इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग, सौर पेशी, मोबाइल कम्युनिकेशन्स, कार नेव्हिगेशन आणि कार ऑडिओ आणि व्हिडिओ सिस्टम, एरोस्पेस, लष्करी उद्योग आणि इतर अनेक क्षेत्रे समाविष्ट आहेत.

इलेक्ट्रॉनिक विशेष वायू त्याच्या स्वतःच्या रासायनिक रचनेनुसार सात श्रेणींमध्ये विभागला जाऊ शकतो: सिलिकॉन, आर्सेनिक, फॉस्फरस, बोरॉन, मेटल हायड्राइड, हॅलाइड आणि मेटल अल्कोऑक्साइड. एकात्मिक सर्किटमधील वेगवेगळ्या अनुप्रयोग पद्धतींनुसार, ते डोपिंग गॅस, एपिटॅक्सी गॅस, आयन इम्प्लांटेशन गॅस, प्रकाश-उत्सर्जक डायोड गॅस, एचिंग गॅस, रासायनिक वाष्प निक्षेपण गॅस आणि बॅलन्स गॅसमध्ये विभागले जाऊ शकते. सेमीकंडक्टर उद्योगात 110 पेक्षा जास्त युनिट विशेष वायू वापरल्या जातात, त्यापैकी 30 पेक्षा जास्त सामान्यतः वापरल्या जातात.

साधारणपणे, अर्धवाहक उत्पादन उद्योग वायूंना दोन प्रकारांमध्ये विभागतो: सामान्य वायू आणि विशेष वायू. त्यापैकी, सामान्यतः वापरला जाणारा वायू केंद्रीकृत पुरवठ्याचा संदर्भ देतो आणि भरपूर वायू वापरतो, जसे की N2, H2, O2, Ar, He, इ. विशेष वायू म्हणजे अर्धवाहक उत्पादन प्रक्रियेत वापरल्या जाणाऱ्या काही रासायनिक वायूंचा संदर्भ, जसे की विस्तार, आयन इंजेक्शन, मिश्रण, धुणे आणि मुखवटा तयार करणे, ज्याला आपण आता इलेक्ट्रॉनिक विशेष वायू म्हणतो, जसे की उच्च-शुद्धता SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, इ.

सेमीकंडक्टर उद्योगाच्या संपूर्ण उत्पादन प्रक्रियेत, चिप वाढीपासून ते अंतिम उपकरण पॅकेजिंगपर्यंत, जवळजवळ प्रत्येक दुवा इलेक्ट्रॉनिक विशेष वायूपासून आणि वापरल्या जाणाऱ्या वायूच्या विविधतेपासून आणि उच्च दर्जाच्या आवश्यकतांपासून अविभाज्य आहे, म्हणून इलेक्ट्रॉनिक वायूमध्ये अर्धसंवाहक साहित्य असते. "अन्न".

अलिकडच्या वर्षांत, चीनमधील प्रमुख इलेक्ट्रॉनिक घटक जसे की सेमीकंडक्टर आणि डिस्प्ले पॅनेलची नवीन उत्पादन क्षमता वाढली आहे आणि इलेक्ट्रॉनिक रासायनिक पदार्थांच्या आयात प्रतिस्थापनाची जोरदार मागणी आहे. सेमीकंडक्टर उद्योगात इलेक्ट्रॉनिक वायूंचे स्थान वाढत्या प्रमाणात प्रमुख झाले आहे. देशांतर्गत इलेक्ट्रॉनिक वायू उद्योग जलद वाढीस सुरुवात करेल.

इलेक्ट्रॉनिक स्पेशल गॅसमध्ये शुद्धतेसाठी खूप जास्त आवश्यकता असतात, कारण जर शुद्धता आवश्यकतेनुसार नसेल तर इलेक्ट्रॉनिक स्पेशल गॅसमधील पाण्याची वाफ आणि ऑक्सिजन सारखे अशुद्धता गट सेमीकंडक्टरच्या पृष्ठभागावर सहजपणे ऑक्साईड फिल्म तयार करतात, ज्यामुळे इलेक्ट्रॉनिक उपकरणांच्या सेवा आयुष्यावर परिणाम होतो आणि इलेक्ट्रॉनिक स्पेशल गॅसमध्ये अशुद्धतेचे कण असतात ज्यामुळे सेमीकंडक्टर शॉर्ट सर्किट आणि सर्किटचे नुकसान होऊ शकते. असे म्हणता येईल की इलेक्ट्रॉनिक उपकरण उत्पादनाच्या उत्पन्नात आणि कामगिरीमध्ये शुद्धतेची सुधारणा महत्त्वाची भूमिका बजावते.

सेमीकंडक्टर उद्योगाच्या सतत विकासासह, चिप उत्पादन प्रक्रिया सुधारत आहे आणि आता ती 5nm पर्यंत पोहोचली आहे, जी मूरच्या नियमाच्या मर्यादेपर्यंत पोहोचणार आहे, जी मानवी केसांच्या व्यासाच्या एकविसाव्या भागाइतकी आहे (सुमारे 0.1 मिमी). म्हणूनच, यामुळे सेमीकंडक्टरद्वारे उत्पादित इलेक्ट्रॉनिक विशेष वायूच्या शुद्धतेवर उच्च आवश्यकता देखील आहेत.