टंगस्टन हेक्साफ्लोराइड (WF6) वेफरच्या पृष्ठभागावर CVD प्रक्रियेद्वारे जमा केले जाते, धातूचे आंतरकनेक्शन खंदक भरून, आणि थरांमधील धातूचे परस्परसंबंध तयार करतात.
प्रथम प्लाझ्माबद्दल बोलूया. प्लाझ्मा हे मुख्यतः मुक्त इलेक्ट्रॉन आणि चार्ज केलेल्या आयनांनी बनलेले पदार्थाचे स्वरूप आहे. हे विश्वामध्ये मोठ्या प्रमाणावर अस्तित्वात आहे आणि बऱ्याचदा पदार्थाची चौथी अवस्था म्हणून ओळखली जाते. त्याला प्लाझ्मा अवस्था म्हणतात, ज्याला "प्लाझ्मा" देखील म्हणतात. प्लाझ्मामध्ये उच्च विद्युत चालकता असते आणि इलेक्ट्रोमॅग्नेटिक फील्डसह मजबूत जोडणी प्रभाव असतो. हा अंशतः आयनीकृत वायू आहे, जो इलेक्ट्रॉन, आयन, मुक्त रॅडिकल्स, तटस्थ कण आणि फोटॉनने बनलेला आहे. प्लाझ्मा स्वतःच विद्युतदृष्ट्या तटस्थ मिश्रण आहे ज्यामध्ये भौतिक आणि रासायनिक सक्रिय कण असतात.
सरळ स्पष्टीकरण असे आहे की उच्च उर्जेच्या कृती अंतर्गत, रेणू व्हॅन डेर वॉल्स फोर्स, रासायनिक बंध बल आणि कुलॉम्ब फोर्सवर मात करेल आणि संपूर्णपणे तटस्थ विजेचे स्वरूप सादर करेल. त्याच वेळी, बाहेरून दिलेली उच्च ऊर्जा वरील तीन शक्तींवर मात करते. फंक्शन, इलेक्ट्रॉन आणि आयन एक मुक्त स्थिती सादर करतात, ज्याचा कृत्रिमरित्या चुंबकीय क्षेत्राच्या मॉड्यूलेशन अंतर्गत वापर केला जाऊ शकतो, जसे की सेमीकंडक्टर एचिंग प्रक्रिया, CVD प्रक्रिया, PVD आणि IMP प्रक्रिया.
उच्च ऊर्जा म्हणजे काय? सिद्धांततः, उच्च तापमान आणि उच्च वारंवारता RF दोन्ही वापरले जाऊ शकते. सर्वसाधारणपणे, उच्च तापमान साध्य करणे जवळजवळ अशक्य आहे. ही तापमानाची आवश्यकता खूप जास्त आहे आणि सूर्याच्या तापमानाच्या जवळ असू शकते. प्रक्रियेत ते साध्य करणे मुळात अशक्य आहे. म्हणून, उद्योग सामान्यतः ते साध्य करण्यासाठी उच्च-फ्रिक्वेंसी RF वापरतो. प्लाझ्मा RF 13MHz+ पर्यंत पोहोचू शकतो.
टंगस्टन हेक्साफ्लोराइड विद्युत क्षेत्राच्या क्रियेखाली प्लाझमाईज केले जाते आणि नंतर चुंबकीय क्षेत्राद्वारे वाष्प जमा केले जाते. W अणू हिवाळ्यातील हंस पिसांसारखे असतात आणि गुरुत्वाकर्षणाच्या प्रभावाखाली जमिनीवर पडतात. हळुहळू, W अणू थ्रू होलमध्ये जमा केले जातात आणि शेवटी ते छिद्रांद्वारे पूर्ण भरून धातूचे परस्पर जोडणी तयार करतात. थ्रू होलमध्ये W अणू जमा करण्याव्यतिरिक्त, ते वेफरच्या पृष्ठभागावर देखील जमा केले जातील का? होय, नक्कीच. सर्वसाधारणपणे, आपण W-CMP प्रक्रिया वापरू शकता, ज्याला आपण काढण्यासाठी यांत्रिक पीसण्याची प्रक्रिया म्हणतो. जोरदार बर्फ पडल्यानंतर फरशी साफ करण्यासाठी झाडू वापरण्यासारखेच आहे. जमिनीवरील बर्फ वाहून गेला आहे, परंतु जमिनीवर असलेल्या छिद्रातील बर्फ कायम राहील. खाली, अंदाजे समान.
पोस्ट वेळ: डिसेंबर-२४-२०२१
