टंगस्टन हेक्साफ्लोराइडचा वापर (डब्ल्यूएफ 6)

टंगस्टन हेक्साफ्लोराइड (डब्ल्यूएफ 6) सीव्हीडी प्रक्रियेद्वारे वेफरच्या पृष्ठभागावर जमा केले जाते, मेटल इंटरकनेक्शन ट्रेंच भरते आणि थरांमधील धातूचे परस्पर संबंध तयार करते.

प्रथम प्लाझ्मा बद्दल बोलूया. प्लाझ्मा हा मुख्यत: विनामूल्य इलेक्ट्रॉन आणि चार्ज केलेल्या आयनपासून बनलेला पदार्थाचा एक प्रकार आहे. हे विश्वात व्यापकपणे अस्तित्वात आहे आणि बहुतेकदा हे चतुर्थांश पदार्थ म्हणून ओळखले जाते. याला प्लाझ्मा स्टेट असे म्हणतात, याला “प्लाझ्मा” देखील म्हणतात. प्लाझ्मामध्ये उच्च विद्युत चालकता असते आणि इलेक्ट्रोमॅग्नेटिक फील्डसह एक मजबूत कपलिंग प्रभाव असतो. हा एक अंशतः आयनीकृत गॅस आहे, जो इलेक्ट्रॉन, आयन, फ्री रॅडिकल्स, तटस्थ कण आणि फोटॉनचा बनलेला आहे. प्लाझ्मा स्वतः एक इलेक्ट्रिकली तटस्थ मिश्रण आहे ज्यामध्ये शारीरिक आणि रासायनिक सक्रिय कण असतात.

सरळ स्पष्टीकरण असे आहे की उच्च उर्जेच्या कृतीत, रेणू व्हॅन डेर वाल्स फोर्स, केमिकल बॉन्ड फोर्स आणि कौलोम्ब फोर्सवर मात करेल आणि संपूर्णपणे तटस्थ विजेचा एक प्रकार सादर करेल. त्याच वेळी, बाहेरून दिलेली उच्च उर्जा वरील तीन सैन्यावर मात करते. फंक्शन, इलेक्ट्रॉन आणि आयन एक विनामूल्य राज्य सादर करतात, जे सेमीकंडक्टर एचिंग प्रक्रिया, सीव्हीडी प्रक्रिया, पीव्हीडी आणि आयएमपी प्रक्रियेसारख्या चुंबकीय क्षेत्राच्या मॉड्युलेशन अंतर्गत कृत्रिमरित्या वापरली जाऊ शकते.

उच्च उर्जा म्हणजे काय? सिद्धांतानुसार, उच्च तापमान आणि उच्च वारंवारता आरएफ दोन्ही वापरले जाऊ शकतात. सर्वसाधारणपणे सांगायचे तर, उच्च तापमान साध्य करणे जवळजवळ अशक्य आहे. ही तापमान आवश्यकता खूप जास्त आहे आणि सूर्याच्या तपमानाच्या जवळ असू शकते. मुळात प्रक्रियेत साध्य करणे अशक्य आहे. म्हणूनच, उद्योग सामान्यत: उच्च-वारंवारता आरएफ वापरण्यासाठी वापरतो. प्लाझ्मा आरएफ 13 मेगाहर्ट्झ+पर्यंत पोहोचू शकते.

टंगस्टन हेक्साफ्लोराइड विद्युत क्षेत्राच्या क्रियेखाली प्लाझ्माइझ केले जाते आणि नंतर चुंबकीय क्षेत्राद्वारे वाष्प-निसटले जाते. डब्ल्यू अणू हिवाळ्यातील हंस पंखांसारखेच असतात आणि गुरुत्वाकर्षणाच्या कृतीत जमिनीवर पडतात. हळूहळू, डब्ल्यू अणू छिद्रांमधून जमा केले जातात आणि शेवटी मेटल इंटरकनेक्शन तयार करण्यासाठी छिद्रांमधून भरले जातात. छिद्रांमधून डब्ल्यू अणू जमा करण्याव्यतिरिक्त, ते वेफरच्या पृष्ठभागावर देखील जमा केले जातील का? होय, निश्चितच. सर्वसाधारणपणे सांगायचे तर, आपण डब्ल्यू-सीएमपी प्रक्रिया वापरू शकता, ज्याला आम्ही काढण्यासाठी मेकॅनिकल ग्राइंडिंग प्रक्रिया म्हणतो. हे जोरदार बर्फानंतर मजला स्वीप करण्यासाठी झाडू वापरण्याइतकेच आहे. जमिनीवरील बर्फ वाहून गेला आहे, परंतु जमिनीवरील छिद्रातील बर्फ कायम राहील. खाली, साधारणपणे समान.