कार्बन टेट्राफ्लोराइड (CF4)

तांत्रिक मापदंड

कार्बन टेट्राफ्लोराइड हे CF4 या रासायनिक सूत्रासह एक हॅलोजनेटेड हायड्रोकार्बन आहे. याला हॅलोजनेटेड हायड्रोकार्बन, हॅलोजनेटेड मिथेन, परफ्लोरोकार्बन किंवा एक अजैविक संयुग मानले जाऊ शकते. कार्बन टेट्राफ्लोराइड हा एक रंगहीन आणि गंधहीन वायू आहे, जो पाण्यात अविद्राव्य, तर बेंझिन आणि क्लोरोफॉर्ममध्ये विद्राव्य आहे. सामान्य तापमान आणि दाबाखाली स्थिर असतो, तीव्र ऑक्सिडायझर्स, ज्वलनशील किंवा दाहक पदार्थांपासून दूर ठेवावा. हा एक अज्वलनशील वायू आहे, उच्च उष्णतेच्या संपर्कात आल्यास पात्राचा अंतर्गत दाब वाढतो आणि तडे जाण्याचा व स्फोट होण्याचा धोका असतो. तो रासायनिक दृष्ट्या स्थिर आणि अज्वलनशील आहे. केवळ द्रव अमोनिया-सोडियम धातू अभिकर्मक खोलीच्या तापमानावर कार्य करू शकतो. कार्बन टेट्राफ्लोराइड हा हरितगृह परिणाम घडवणारा वायू आहे. तो खूप स्थिर असतो, वातावरणात दीर्घकाळ टिकून राहू शकतो आणि एक अत्यंत शक्तिशाली हरितगृह वायू आहे. कार्बन टेट्राफ्लोराइडचा उपयोग विविध एकात्मिक सर्किट्सच्या प्लाझ्मा एचिंग प्रक्रियेत केला जातो. याचा उपयोग लेझर गॅस म्हणूनही केला जातो, तसेच कमी-तापमानाचे रेफ्रिजरंट, सॉल्व्हेंट्स, वंगण, इन्सुलेटिंग मटेरियल आणि इन्फ्रारेड डिटेक्टरसाठी कूलंट म्हणून वापरला जातो. मायक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स उद्योगात हा सर्वाधिक वापरला जाणारा प्लाझ्मा एचिंग गॅस आहे. हे टेट्राफ्लुरोमिथेन उच्च-शुद्धता गॅस आणि उच्च-शुद्धता ऑक्सिजन यांचे मिश्रण आहे. याचा उपयोग सिलिकॉन, सिलिकॉन डायऑक्साइड, सिलिकॉन नायट्राइड आणि फॉस्फोसिलिकेट ग्लासमध्ये मोठ्या प्रमाणावर केला जाऊ शकतो. टंगस्टन आणि टंगस्टनसारख्या पातळ फिल्म मटेरियलच्या एचिंगसाठी याचा उपयोग इलेक्ट्रॉनिक उपकरणांची पृष्ठभाग स्वच्छता, सौर सेल उत्पादन, लेझर तंत्रज्ञान, कमी-तापमानाचे रेफ्रिजरेशन, गळती तपासणी आणि प्रिंटेड सर्किट उत्पादनात डिटर्जंट म्हणून देखील मोठ्या प्रमाणावर केला जातो. इंटिग्रेटेड सर्किट्ससाठी कमी-तापमानाचे रेफ्रिजरंट आणि प्लाझ्मा ड्राय एचिंग तंत्रज्ञान म्हणून वापरले जाते. साठवणुकीसाठी खबरदारी: थंड, हवेशीर, ज्वलनशील नसलेल्या गॅसच्या गोदामात साठवा. आग आणि उष्णतेच्या स्रोतांपासून दूर ठेवा. साठवणुकीचे तापमान ३०°C पेक्षा जास्त नसावे. ते सहज पेट घेणाऱ्या ज्वलनशील पदार्थांपासून आणि ऑक्सिडायझर्सपासून वेगळे साठवले पाहिजे आणि मिश्र साठवणूक टाळावी. साठवणुकीची जागा गळतीवरील आपत्कालीन उपचारांसाठीच्या उपकरणांनी सुसज्ज असावी.

अर्ज:

① रेफ्रिजरंट:

टेट्राफ्लुरोमिथेनचा वापर कधीकधी कमी तापमानाचा रेफ्रिजरंट म्हणून केला जातो.

२) एचिंग:

इलेक्ट्रॉनिक्स मायक्रोफॅब्रिकेशनमध्ये याचा वापर सिलिकॉन, सिलिकॉन डायऑक्साइड आणि सिलिकॉन नायट्राइडसाठी प्लाझ्मा इचंट म्हणून एकट्याने किंवा ऑक्सिजनसोबत केला जातो.

सामान्य पॅकेज:

फायदा:

① उच्च शुद्धता, अत्याधुनिक सुविधा;

② आयएसओ प्रमाणपत्र निर्माता;

③ जलद वितरण;

④ प्रत्येक टप्प्यावर गुणवत्ता नियंत्रणासाठी ऑनलाईन विश्लेषण प्रणाली;

⑤ सिलेंडर भरण्यापूर्वी हाताळण्यासाठी उच्च आवश्यकता आणि काटेकोर प्रक्रिया;