लेझर वायू

लेसर वायूचा वापर प्रामुख्याने इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योगात लेझर एनीलिंग आणि लिथोग्राफी गॅससाठी केला जातो. मोबाइल फोन स्क्रीनच्या नवकल्पना आणि ऍप्लिकेशन क्षेत्रांच्या विस्ताराचा फायदा घेऊन, कमी-तापमानाच्या पॉलिसिलिकॉन मार्केटचे प्रमाण आणखी विस्तारले जाईल आणि लेझर ॲनिलिंग प्रक्रियेने TFTs च्या कार्यक्षमतेत लक्षणीय सुधारणा केली आहे. अर्धसंवाहक तयार करण्यासाठी एआरएफ एक्सायमर लेसरमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या निऑन, फ्लोरिन आणि आर्गॉन वायूंपैकी, लेसर गॅस मिश्रणाच्या 96% पेक्षा जास्त निऑनचा वाटा आहे. सेमीकंडक्टर तंत्रज्ञानाच्या शुद्धीकरणासह, एक्सायमर लेसरचा वापर वाढला आहे आणि डबल एक्सपोजर तंत्रज्ञानाचा परिचय करून दिल्याने एआरएफ एक्सायमर लेसरद्वारे वापरल्या जाणाऱ्या निऑन गॅसच्या मागणीत तीव्र वाढ झाली आहे. इलेक्ट्रॉनिक स्पेशॅलिटी गॅसेसच्या स्थानिकीकरणाच्या जाहिरातीमुळे फायदा होऊन, देशांतर्गत उत्पादकांना भविष्यात बाजारपेठेतील वाढीची चांगली जागा मिळेल.

लिथोग्राफी मशीन हे सेमीकंडक्टर उत्पादनाचे मुख्य उपकरण आहे. लिथोग्राफी ट्रान्झिस्टरचा आकार परिभाषित करते. लिथोग्राफी उद्योग साखळीचा समन्वित विकास ही लिथोग्राफी मशीनच्या प्रगतीची गुरुकिल्ली आहे. फोटोरेसिस्ट, फोटोलिथोग्राफी गॅस, फोटोमास्क आणि कोटिंग आणि विकसनशील उपकरणांसारख्या जुळणाऱ्या सेमीकंडक्टर सामग्रीमध्ये उच्च तांत्रिक सामग्री असते. लिथोग्राफी गॅस हा वायू आहे जो लिथोग्राफी मशीन खोल अल्ट्राव्हायोलेट लेसर तयार करते. भिन्न लिथोग्राफी वायू वेगवेगळ्या तरंगलांबींचे प्रकाश स्रोत तयार करू शकतात आणि त्यांची तरंगलांबी थेट लिथोग्राफी मशीनच्या रिझोल्यूशनवर परिणाम करते, जे लिथोग्राफी मशीनच्या कोरांपैकी एक आहे. 2020 मध्ये, लिथोग्राफी मशीनची एकूण जागतिक विक्री 413 युनिट्स असेल, ज्यामध्ये ASML विक्री 258 युनिट्सचा वाटा 62%, Canon विक्री 122 युनिट्सचा वाटा 30%, आणि Nikon विक्री 33 युनिट्सचा वाटा 8% आहे.