लेसर वायू

इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योगात लेसर गॅसचा वापर प्रामुख्याने लेसर अ‍ॅनिलिंग आणि लिथोग्राफी गॅससाठी केला जातो. मोबाईल फोन स्क्रीनच्या नवोपक्रमाचा आणि अनुप्रयोग क्षेत्रांच्या विस्ताराचा फायदा घेत, कमी-तापमानाच्या पॉलिसिलिकॉन बाजारपेठेचा विस्तार आणखी वाढेल आणि लेसर अ‍ॅनिलिंग प्रक्रियेमुळे TFTs ची कार्यक्षमता लक्षणीयरीत्या सुधारली आहे. सेमीकंडक्टर तयार करण्यासाठी ArF एक्सायमर लेसरमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या निऑन, फ्लोरिन आणि आर्गॉन वायूंपैकी, लेसर गॅस मिश्रणाच्या 96% पेक्षा जास्त निऑन वायूंचा वाटा आहे. सेमीकंडक्टर तंत्रज्ञानाच्या सुधारणेसह, एक्सायमर लेसरचा वापर वाढला आहे आणि डबल एक्सपोजर तंत्रज्ञानाच्या परिचयामुळे ArF एक्सायमर लेसरद्वारे वापरल्या जाणाऱ्या निऑन वायूच्या मागणीत मोठी वाढ झाली आहे. इलेक्ट्रॉनिक स्पेशॅलिटी गॅसेसच्या स्थानिकीकरणाच्या जाहिरातीचा फायदा घेत, देशांतर्गत उत्पादकांना भविष्यात बाजारपेठेत वाढीसाठी चांगली जागा मिळेल.

लिथोग्राफी मशीन हे सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगचे मुख्य उपकरण आहे. लिथोग्राफी ट्रान्झिस्टरचा आकार परिभाषित करते. लिथोग्राफी उद्योग साखळीचा समन्वित विकास हा लिथोग्राफी मशीनच्या प्रगतीची गुरुकिल्ली आहे. फोटोरेसिस्ट, फोटोलिथोग्राफी गॅस, फोटोमास्क आणि कोटिंग आणि डेव्हलपिंग उपकरणे यासारख्या जुळणाऱ्या सेमीकंडक्टर मटेरियलमध्ये उच्च तांत्रिक सामग्री असते. लिथोग्राफी गॅस हा असा वायू आहे जो लिथोग्राफी मशीन खोल अल्ट्राव्हायोलेट लेसर तयार करते. वेगवेगळ्या लिथोग्राफी वायू वेगवेगळ्या तरंगलांबींचे प्रकाश स्रोत तयार करू शकतात आणि त्यांची तरंगलांबी थेट लिथोग्राफी मशीनच्या कोरपैकी एक असलेल्या लिथोग्राफी मशीनच्या रिझोल्यूशनवर परिणाम करते. २०२० मध्ये, लिथोग्राफी मशीनची एकूण जागतिक विक्री ४१३ युनिट्स असेल, ज्यापैकी एएसएमएल विक्री २५८ युनिट्सची ६२%, कॅनन विक्री १२२ युनिट्सची ३०% आणि निकॉन विक्री ३३ युनिट्सची ८% होती.