लेझर गॅस

इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योगात लेझर गॅसचा वापर प्रामुख्याने लेझर ॲनीलिंग आणि लिथोग्राफी गॅस म्हणून केला जातो. मोबाईल फोनच्या स्क्रीनमधील नवनवीन शोध आणि अनुप्रयोग क्षेत्रांच्या विस्तारामुळे, कमी-तापमानाच्या पॉलिसिलिकॉन बाजाराचा आवाका आणखी वाढेल आणि लेझर ॲनीलिंग प्रक्रियेने टीएफटीच्या (TFTs) कार्यक्षमतेत लक्षणीय सुधारणा केली आहे. सेमीकंडक्टरच्या निर्मितीसाठी वापरल्या जाणाऱ्या एआरएफ (ArF) एक्सायमर लेझरमधील निऑन, फ्लोरीन आणि आर्गॉन वायूंपैकी, लेझर गॅस मिश्रणात निऑनचा वाटा ९६% पेक्षा जास्त असतो. सेमीकंडक्टर तंत्रज्ञानातील सुधारणांमुळे एक्सायमर लेझरचा वापर वाढला आहे आणि डबल एक्सपोजर तंत्रज्ञानाच्या आगमनामुळे एआरएफ एक्सायमर लेझरमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या निऑन वायूच्या मागणीत मोठी वाढ झाली आहे. इलेक्ट्रॉनिक विशेष वायूंच्या स्थानिकीकरणाला प्रोत्साहन मिळाल्यामुळे, देशांतर्गत उत्पादकांना भविष्यात बाजारात वाढीसाठी अधिक चांगली संधी मिळेल.

लिथोग्राफी मशीन हे सेमीकंडक्टर उत्पादनाचे मुख्य उपकरण आहे. लिथोग्राफीद्वारे ट्रान्झिस्टरचा आकार निश्चित केला जातो. लिथोग्राफी उद्योग साखळीचा समन्वित विकास ही लिथोग्राफी मशीनच्या प्रगतीची गुरुकिल्ली आहे. फोटोरेझिस्ट, फोटोलिथोग्राफी गॅस, फोटोमास्क यांसारख्या जुळणाऱ्या सेमीकंडक्टर सामग्रीमध्ये आणि कोटिंग व डेव्हलपिंग उपकरणांमध्ये उच्च तांत्रिक सामग्री असते. लिथोग्राफी गॅस हा तो वायू आहे, ज्याद्वारे लिथोग्राफी मशीन डीप अल्ट्राव्हायोलेट लेझर तयार करते. वेगवेगळे लिथोग्राफी गॅस वेगवेगळ्या तरंगलांबीचे प्रकाश स्रोत तयार करू शकतात आणि त्यांची तरंगलांबी लिथोग्राफी मशीनच्या रिझोल्यूशनवर थेट परिणाम करते, जे लिथोग्राफी मशीनच्या मुख्य वैशिष्ट्यांपैकी एक आहे. २०२० मध्ये, लिथोग्राफी मशीनची एकूण जागतिक विक्री ४१३ युनिट्स होती, त्यापैकी ASML च्या २५८ युनिट्सच्या विक्रीचा वाटा ६२%, कॅननच्या १२२ युनिट्सच्या विक्रीचा वाटा ३०% आणि निकॉनच्या ३३ युनिट्सच्या विक्रीचा वाटा ८% होता.