इलेक्ट्रॉनिक स्पेशल गॅसची सर्वात मोठी रक्कम - नायट्रोजन ट्रायफ्लोराइड एनएफ 3

आमच्या देशाचा सेमीकंडक्टर उद्योग आणि पॅनेल उद्योग उच्च स्तरीय समृद्धी राखतात. पॅनेल आणि सेमीकंडक्टरच्या उत्पादन आणि प्रक्रियेमध्ये एक अपरिहार्य आणि सर्वात मोठा-व्हॉल्यूम विशेष इलेक्ट्रॉनिक गॅस म्हणून नायट्रोजन ट्रायफ्लोराइडमध्ये विस्तृत बाजारपेठ आहे.

सामान्यत: वापरल्या जाणार्‍या फ्लोरिनयुक्त विशेष इलेक्ट्रॉनिक वायूंमध्ये समाविष्ट आहेसल्फर हेक्साफ्लोराइड (एसएफ 6), टंगस्टन हेक्साफ्लोराइड (डब्ल्यूएफ 6),कार्बन टेट्राफ्लोराइड (सीएफ 4). नायट्रोजन ट्रायफ्लोराइड (एनएफ 3) प्रामुख्याने हायड्रोजन फ्लोराईड-फ्लोराईड गॅस उच्च-उर्जा रासायनिक लेसरसाठी फ्लोरिन स्त्रोत म्हणून वापरली जाते. एच 2-ओ 2 आणि एफ 2 मधील प्रतिक्रिया उर्जेचा प्रभावी भाग (सुमारे 25%) लेसर रेडिएशनद्वारे सोडला जाऊ शकतो, म्हणून एचएफ-ऑफ लेसर रासायनिक लेसरमध्ये सर्वात आशादायक लेसर आहेत.

मायक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स उद्योगात नायट्रोजन ट्रायफ्लोराइड एक उत्कृष्ट प्लाझ्मा एचिंग गॅस आहे. सिलिकॉन आणि सिलिकॉन नायट्राइड एचिंगसाठी, नायट्रोजन ट्रायफ्लोराइडमध्ये कार्बन टेट्राफ्लोराइड आणि कार्बन टेट्राफ्लोराइड आणि ऑक्सिजनचे मिश्रण जास्त एचिंग रेट आणि निवड आहे आणि पृष्ठभागावर कोणतेही प्रदूषण नाही. विशेषत: 1.5um पेक्षा कमी जाडी असलेल्या एकात्मिक सर्किट सामग्रीच्या एचिंगमध्ये, नायट्रोजन ट्रायफ्लोराइडमध्ये एक उत्कृष्ट एचिंग रेट आणि निवड आहे, ज्यामुळे एचेड ऑब्जेक्टच्या पृष्ठभागावर कोणतेही अवशेष नसतात आणि एक चांगला साफसफाईचा एजंट देखील आहे. नॅनो टेक्नॉलॉजीच्या विकासामुळे आणि इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योगाच्या मोठ्या प्रमाणात विकासामुळे त्याची मागणी दिवसेंदिवस वाढेल.

फ्लोरिन युक्त विशेष गॅसचा एक प्रकार म्हणून, नायट्रोजन ट्रायफ्लोराइड (एनएफ 3) हे बाजारातील सर्वात मोठे इलेक्ट्रॉनिक विशेष गॅस उत्पादन आहे. हे तपमानावर रासायनिकदृष्ट्या जड आहे, ऑक्सिजनपेक्षा अधिक सक्रिय, फ्लोरिनपेक्षा अधिक स्थिर आणि उच्च तापमानात हाताळण्यास सुलभ आहे.

नायट्रोजन ट्रायफ्लोराईड प्रामुख्याने प्लाझ्मा एचिंग गॅस आणि रिएक्शन चेंबर क्लीनिंग एजंट म्हणून वापरला जातो, सेमीकंडक्टर चिप्स, फ्लॅट पॅनेल डिस्प्ले, ऑप्टिकल फायबर, फोटोव्होल्टिक पेशी इत्यादी सारख्या मॅन्युफॅक्चरिंग फील्डसाठी योग्य

इतर फ्लोरिन-युक्त इलेक्ट्रॉनिक वायूंच्या तुलनेत, नायट्रोजन ट्रायफ्लोराईडला वेगवान प्रतिक्रिया आणि उच्च कार्यक्षमतेचे फायदे आहेत, विशेषत: सिलिकॉन नायट्राइडसारख्या सिलिकॉन-युक्त सामग्रीच्या कोसळण्यामध्ये, त्यात एचिंग ऑब्जेक्टच्या पृष्ठभागावर कोणतेही अवशेष नसतात आणि ते एक अतिशय चांगले काम करतात आणि ते स्वच्छतेची आवश्यकता असते आणि ते स्वच्छतेची आवश्यकता असते आणि ते स्वच्छतेचे एजंट देखील असते.