काय आहेकार्बन टेट्राफ्लोराइड? काय उपयोग?
कार्बन टेट्राफ्लोराइडटेट्राफ्लुरोमेथेन म्हणूनही ओळखले जाणारे, हे एक अजैविक संयुग मानले जाते. विविध एकात्मिक सर्किट्सच्या प्लाझ्मा एचिंग प्रक्रियेत याचा वापर केला जातो आणि लेसर वायू आणि रेफ्रिजरंट म्हणून देखील वापरला जातो. सामान्य तापमान आणि दाबाखाली ते तुलनेने स्थिर असते, परंतु मजबूत ऑक्सिडंट्स, ज्वलनशील किंवा ज्वलनशील पदार्थांशी संपर्क टाळणे आवश्यक आहे. कार्बन टेट्राफ्लुरोइड हा एक ज्वलनशील नसलेला वायू आहे. जर त्याला जास्त उष्णता मिळाली तर त्यामुळे कंटेनरचा अंतर्गत दाब वाढेल आणि क्रॅकिंग आणि स्फोट होण्याचा धोका असतो. सहसा ते खोलीच्या तपमानावर फक्त द्रव अमोनिया-सोडियम धातू अभिकर्मकाशी संवाद साधू शकते.
कार्बन टेट्राफ्लोराइडसध्या मायक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स उद्योगात वापरला जाणारा सर्वात मोठा प्लाझ्मा एचिंग गॅस आहे. सिलिकॉन, सिलिकॉन डायऑक्साइड, फॉस्फोसिलिकेट ग्लास आणि इतर पातळ फिल्म मटेरियलच्या एचिंगमध्ये, इलेक्ट्रॉनिक उपकरणांच्या पृष्ठभागाची स्वच्छता, सौर सेल उत्पादन, लेसर तंत्रज्ञान, गॅस-फेज इन्सुलेशन, कमी-तापमान रेफ्रिजरेशन, गळती शोधण्याचे एजंट आणि प्रिंटेड सर्किट उत्पादनात डिटर्जंट्समध्ये मोठ्या प्रमाणात वापरला जाऊ शकतो.
पोस्ट वेळ: नोव्हेंबर-०१-२०२१
