घटक | 99.9999% | युनिट |
ऑक्सिजन (एआर) | ≤0.1 | ppmV |
नायट्रोजन | ≤0.1 | ppmV |
हायड्रोजन | ≤२० | ppmV |
हेलियम | ≤१० | ppmV |
CO+CO2 | ≤0.1 | ppmV |
THC | ≤0.1 | ppmV |
क्लोरोसिलेन | ≤0.1 | ppmV |
डिसिलॉक्सेन | ≤0.1 | ppmV |
दिसलें | ≤0.1 | ppmV |
ओलावा (H2O) | ≤0.1 | ppmV |
सिलेन हे सिलिकॉन आणि हायड्रोजनचे संयुग आहे. मोनोसिलेन (SiH4), डिसिलेन (Si2H6) आणि काही उच्च-स्तरीय सिलिकॉन-हायड्रोजन यौगिकांसह संयुगांच्या मालिकेसाठी हा एक सामान्य शब्द आहे. त्यापैकी, मोनोसिलेन हे सर्वात सामान्य आहे, ज्याला काहीवेळा सिलेन म्हणून संबोधले जाते. सिलेन हा रंगहीन वायू आहे ज्याला लसणाचा घृणास्पद वास आहे. पाण्यात विरघळणारे, इथेनॉल, इथर, बेंझिन, क्लोरोफॉर्म, सिलिकॉन क्लोरोफॉर्म आणि सिलिकॉन टेट्राक्लोराईडमध्ये जवळजवळ अघुलनशील. सायलेनचे रासायनिक गुणधर्म अल्केनपेक्षा जास्त सक्रिय असतात आणि सहज ऑक्सिडाइज्ड होतात. हवेच्या संपर्कात असताना उत्स्फूर्त ज्वलन होऊ शकते. ते 25°C पेक्षा कमी नायट्रोजनवर प्रतिक्रिया देत नाही आणि खोलीच्या तपमानावर हायड्रोकार्बन संयुगेवर प्रतिक्रिया देत नाही. सिलेनची आग आणि स्फोट हे ऑक्सिजनच्या प्रतिक्रियेचे परिणाम आहेत. सिलेन ऑक्सिजन आणि हवेसाठी अत्यंत संवेदनशील आहे. विशिष्ट एकाग्रतेसह सिलेन देखील -180 डिग्री सेल्सिअस तापमानात ऑक्सिजनसह स्फोटकपणे प्रतिक्रिया देईल. सिलेन हा सेमीकंडक्टर मायक्रोइलेक्ट्रॉनिक प्रक्रियेमध्ये वापरला जाणारा सर्वात महत्त्वाचा विशेष वायू बनला आहे आणि सिंगल क्रिस्टल फिल्म्स, मायक्रोक्रिस्टलाइन, पॉलीक्रिस्टलाइन, सिलिकॉन ऑक्साईड, सिलिकॉन नायट्राइड आणि मेटल सिलिसाइड्ससह विविध मायक्रोइलेक्ट्रॉनिक फिल्म्स तयार करण्यासाठी वापरला जातो. सिलेनचे मायक्रोइलेक्ट्रॉनिक ऍप्लिकेशन्स अजूनही सखोलपणे विकसित होत आहेत: कमी-तापमान एपिटॅक्सी, निवडक एपिटॅक्सी आणि हेटरोएपिटॅक्सियल एपिटॅक्सी. केवळ सिलिकॉन उपकरणे आणि सिलिकॉन इंटिग्रेटेड सर्किट्ससाठीच नाही तर कंपाऊंड सेमीकंडक्टर उपकरणांसाठी (गॅलियम आर्सेनाइड, सिलिकॉन कार्बाइड इ.). यात सुपरलॅटिस क्वांटम वेल मटेरिअल तयार करण्यासाठी देखील अनुप्रयोग आहेत. असे म्हटले जाऊ शकते की आधुनिक काळात जवळजवळ सर्व प्रगत एकात्मिक सर्किट उत्पादन लाइनमध्ये सिलेनचा वापर केला जातो. सिलीकॉन असलेली फिल्म आणि कोटिंग म्हणून सिलेनचा वापर पारंपारिक मायक्रोइलेक्ट्रॉनिक उद्योगापासून स्टील, यंत्रसामग्री, रसायने आणि ऑप्टिक्स यासारख्या विविध क्षेत्रांमध्ये विस्तारला आहे. सिलेनचा आणखी एक संभाव्य वापर म्हणजे उच्च-कार्यक्षमता असलेल्या सिरॅमिक इंजिनच्या भागांचे उत्पादन, विशेषत: सिलिसाईड (Si3N4, SiC, इ.) तयार करण्यासाठी सिलेनचा वापर मायक्रोपावडर तंत्रज्ञानाने अधिकाधिक लक्ष वेधून घेतले आहे.
①इलेक्ट्रॉनिक:
सेमीकंडक्टर आणि सीलंट तयार करताना सिलेन सिलिकॉन वेफर्सवरील पॉलीक्रिस्टलाइन सिलिकॉन स्तरांवर लागू केले जाते.
②सौर:
सिलेनचा वापर सोलर फोटोव्होल्टेइक मॉड्यूल निर्मितीमध्ये केला जातो.
③औद्योगिक:
हे ऊर्जा-बचत ग्रीन ग्लासमध्ये वापरले जाते आणि बाष्प जमा करण्याच्या पातळ फिल्म प्रक्रियेवर लागू केले जाते.
उत्पादन | सिलेन SiH4 द्रव | |
पॅकेज आकार | 47 लिटर सिलेंडर | Y-440L |
निव्वळ वजन/सायल भरणे | 10Kgs | 125Kgs |
20'कंटेनरमध्ये QTY लोड केले | 250 Cyls | 8Cyls |
एकूण निव्वळ वजन | 2.5 टन | 1 टन |
सिलेंडरचे वजन | 52Kgs | 680Kgs |
झडपा | CGA632/DISS632 |
①बाजारात दहा वर्षांहून अधिक काळ;
②ISO प्रमाणपत्र निर्माता;
③ जलद वितरण;
④ स्थिर कच्चा माल स्रोत;
⑤प्रत्येक चरणात गुणवत्ता नियंत्रणासाठी ऑन-लाइन विश्लेषण प्रणाली;
⑥ भरण्यापूर्वी सिलेंडर हाताळण्यासाठी उच्च आवश्यकता आणि सूक्ष्म प्रक्रिया;
⑦शुद्धता: उच्च शुद्धता इलेक्ट्रॉनिक ग्रेड;
⑧वापर: सौर सेल साहित्य; उच्च शुद्धता पॉलिसिलिकॉन, सिलिकॉन ऑक्साईड आणि ऑप्टिकल फायबर बनवणे; रंगीत काचेचे उत्पादन.