सर्वात जास्त वापरलेला इलेक्ट्रॉनिक विशेष वायू - नायट्रोजन ट्रायफ्लोराइड

सामान्य फ्लोरिन-युक्त विशेष इलेक्ट्रॉनिक वायूंचा समावेश होतोसल्फर हेक्साफ्लोराइड (SF6), टंगस्टन हेक्साफ्लोराइड (WF6),कार्बन टेट्राफ्लोराइड (CF4), ट्रायफ्लुओरोमेथेन (CHF3), नायट्रोजन ट्रायफ्लोराइड (NF3), हेक्साफ्लोरोइथेन (C2F6) आणि ऑक्टाफ्लोरोप्रोपेन (C3F8).

नॅनोटेक्नॉलॉजीच्या विकासामुळे आणि इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योगाच्या मोठ्या प्रमाणावर विकासामुळे, त्याची मागणी दिवसेंदिवस वाढत जाईल. पॅनेल आणि सेमीकंडक्टर्सच्या उत्पादनात आणि प्रक्रियेत अपरिहार्य आणि सर्वात जास्त वापरल्या जाणाऱ्या विशेष इलेक्ट्रॉनिक वायूच्या रूपात नायट्रोजन ट्रायफ्लोराइडला बाजारपेठेत मोठी जागा आहे.

फ्लोरिनयुक्त विशेष वायूचा प्रकार म्हणून,नायट्रोजन ट्रायफ्लोराइड (NF3)सर्वात मोठी बाजारपेठ क्षमता असलेले इलेक्ट्रॉनिक विशेष गॅस उत्पादन आहे. खोलीच्या तपमानावर ते रासायनिकदृष्ट्या निष्क्रिय आहे, उच्च तापमानात ऑक्सिजनपेक्षा अधिक सक्रिय आहे, फ्लोरिनपेक्षा अधिक स्थिर आहे आणि हाताळण्यास सोपे आहे. नायट्रोजन ट्रायफ्लोराइड हे मुख्यतः प्लाझ्मा एचिंग गॅस आणि रिॲक्शन चेंबर क्लिनिंग एजंट म्हणून वापरले जाते आणि सेमीकंडक्टर चिप्स, फ्लॅट पॅनेल डिस्प्ले, ऑप्टिकल फायबर, फोटोव्होल्टेइक सेल इत्यादींच्या उत्पादनासाठी उपयुक्त आहे.

इतर फ्लोरिनयुक्त इलेक्ट्रॉनिक वायूंच्या तुलनेत,नायट्रोजन ट्रायफ्लोराइडजलद प्रतिक्रिया आणि उच्च कार्यक्षमतेचे फायदे आहेत. विशेषत: सिलिकॉन नायट्राइड सारख्या सिलिकॉन-युक्त सामग्रीच्या नक्षीकामात, त्यात उच्च कोरीव दर आणि निवडकता असते, ज्यामुळे कोरीव वस्तूच्या पृष्ठभागावर कोणतेही अवशेष राहत नाहीत. हे एक अतिशय चांगले स्वच्छता एजंट देखील आहे आणि पृष्ठभागावर कोणतेही प्रदूषण नाही, जे प्रक्रिया प्रक्रियेच्या गरजा पूर्ण करू शकते.