सर्वात वापरलेला इलेक्ट्रॉनिक स्पेशल गॅस - नायट्रोजन ट्रायफ्लोराइड

सामान्य फ्लोरिनयुक्त विशेष इलेक्ट्रॉनिक वायूंमध्ये समाविष्ट आहेसल्फर हेक्साफ्लोराइड (एसएफ 6), टंगस्टन हेक्साफ्लोराइड (डब्ल्यूएफ 6),कार्बन टेट्राफ्लोराइड (सीएफ 4).

नॅनो टेक्नॉलॉजीच्या विकासामुळे आणि इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योगाच्या मोठ्या प्रमाणात विकासामुळे त्याची मागणी दिवसेंदिवस वाढेल. पॅनेल आणि सेमीकंडक्टरच्या उत्पादन आणि प्रक्रियेमध्ये एक अपरिहार्य आणि सर्वात मोठा वापरलेला विशेष इलेक्ट्रॉनिक गॅस म्हणून नायट्रोजन ट्रायफ्लोराइडमध्ये विस्तृत बाजारपेठ आहे.

फ्लोरिन युक्त विशेष गॅसचा एक प्रकार म्हणून,नायट्रोजन ट्रायफ्लोराइड (एनएफ 3)सर्वात मोठी बाजारपेठ क्षमता असलेले इलेक्ट्रॉनिक विशेष गॅस उत्पादन आहे. हे तपमानावर रासायनिकदृष्ट्या जड आहे, उच्च तापमानात ऑक्सिजनपेक्षा अधिक सक्रिय आहे, फ्लोरिनपेक्षा अधिक स्थिर आणि हाताळण्यास सुलभ आहे. नायट्रोजन ट्रायफ्लोराइड प्रामुख्याने प्लाझ्मा एचिंग गॅस आणि रिएक्शन चेंबर क्लीनिंग एजंट म्हणून वापरला जातो आणि सेमीकंडक्टर चिप्स, फ्लॅट पॅनेल डिस्प्ले, ऑप्टिकल फायबर, फोटोव्होल्टिक पेशी इत्यादींच्या उत्पादन क्षेत्रासाठी योग्य आहे.

इतर फ्लोरिनयुक्त इलेक्ट्रॉनिक वायूंच्या तुलनेत,नायट्रोजन ट्रायफ्लोराइडवेगवान प्रतिक्रिया आणि उच्च कार्यक्षमतेचे फायदे आहेत. विशेषत: सिलिकॉन नायट्राइड सारख्या सिलिकॉन-युक्त सामग्रीच्या एचिंगमध्ये, त्यात उच्च एचिंग रेट आणि निवड आहे, ज्यामुळे कोरलेल्या वस्तूच्या पृष्ठभागावर कोणतेही अवशेष नसतात. हा एक चांगला साफसफाईचा एजंट देखील आहे आणि पृष्ठभागावर कोणतेही प्रदूषण नाही, जे प्रक्रियेच्या प्रक्रियेच्या गरजा भागवू शकते.