सामान्य फ्लोरिनयुक्त विशेष इलेक्ट्रॉनिक वायूंमध्ये हे समाविष्ट आहेसल्फर हेक्साफ्लोराइड (SF6), टंगस्टन हेक्साफ्लोराइड (WF6),कार्बन टेट्राफ्लोराइड (CF4), ट्रायफ्लुरोमेथेन (CHF3), नायट्रोजन ट्रायफ्लुओराइड (NF3), हेक्साफ्लुओरोइथेन (C2F6) आणि ऑक्टाफ्लुओरोप्रोपेन (C3F8).
नॅनोटेक्नॉलॉजीच्या विकासासह आणि इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योगाच्या मोठ्या प्रमाणात विकासासह, त्याची मागणी दिवसेंदिवस वाढत जाईल. पॅनेल आणि सेमीकंडक्टरच्या उत्पादन आणि प्रक्रियेत एक अपरिहार्य आणि सर्वात जास्त वापरला जाणारा विशेष इलेक्ट्रॉनिक वायू म्हणून, नायट्रोजन ट्रायफ्लोराइडची बाजारपेठ विस्तृत आहे.
फ्लोरिनयुक्त विशेष वायूचा एक प्रकार म्हणून,नायट्रोजन ट्रायफ्लोराइड (NF3)हे सर्वात मोठी बाजारपेठ क्षमता असलेले इलेक्ट्रॉनिक विशेष वायू उत्पादन आहे. ते खोलीच्या तपमानावर रासायनिकदृष्ट्या निष्क्रिय असते, उच्च तापमानात ऑक्सिजनपेक्षा अधिक सक्रिय असते, फ्लोरिनपेक्षा अधिक स्थिर असते आणि हाताळण्यास सोपे असते. नायट्रोजन ट्रायफ्लोराइड हे प्रामुख्याने प्लाझ्मा एचिंग गॅस आणि रिअॅक्शन चेंबर क्लीनिंग एजंट म्हणून वापरले जाते आणि ते सेमीकंडक्टर चिप्स, फ्लॅट पॅनेल डिस्प्ले, ऑप्टिकल फायबर, फोटोव्होल्टेइक सेल्स इत्यादींच्या उत्पादन क्षेत्रांसाठी योग्य आहे.
इतर फ्लोरिनयुक्त इलेक्ट्रॉनिक वायूंच्या तुलनेत,नायट्रोजन ट्रायफ्लोराइडजलद प्रतिक्रिया आणि उच्च कार्यक्षमता हे त्याचे फायदे आहेत. विशेषतः सिलिकॉन नायट्राइड सारख्या सिलिकॉनयुक्त पदार्थांच्या एचिंगमध्ये, त्याचा एचिंग दर आणि निवडकता जास्त असते, ज्यामुळे एचिंग केलेल्या वस्तूच्या पृष्ठभागावर कोणतेही अवशेष राहत नाहीत. हे एक अतिशय चांगले क्लिनिंग एजंट देखील आहे आणि पृष्ठभागावर कोणतेही प्रदूषण होत नाही, जे प्रक्रिया प्रक्रियेच्या गरजा पूर्ण करू शकते.
पोस्ट वेळ: सप्टेंबर-१४-२०२४
