सामान्य फ्लोरीनयुक्त विशेष इलेक्ट्रॉनिक वायूंमध्ये यांचा समावेश होतोसल्फर हेक्साफ्लोराइड (एसएफ६), टंगस्टन हेक्साफ्लोराइड (WF6),कार्बन टेट्राफ्ल्युओराइड (CF4), ट्रायफ्लोरोमिथेन (CHF3), नायट्रोजन ट्रायफ्लोराइड (NF3), हेक्साफ्लोरोइथेन (C2F6) आणि ऑक्टाफ्लोरोप्रोपेन (C3F8).
नॅनोटेकनॉलॉजीच्या विकासामुळे आणि इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योगाच्या मोठ्या प्रमाणावरील विकासामुळे, त्याची मागणी दिवसेंदिवस वाढत जाईल. पॅनेल आणि सेमीकंडक्टरच्या उत्पादन आणि प्रक्रियेमध्ये एक अपरिहार्य आणि सर्वाधिक वापरला जाणारा विशेष इलेक्ट्रॉनिक वायू म्हणून नायट्रोजन ट्रायफ्लोराइडला मोठी बाजारपेठ उपलब्ध आहे.
फ्लोरीनयुक्त विशेष वायूचा एक प्रकार म्हणून,नायट्रोजन ट्रायफ्ल्युओराइड (NF3)हे सर्वाधिक बाजारपेठ क्षमता असलेले इलेक्ट्रॉनिक विशेष वायू उत्पादन आहे. हे सामान्य तापमानात रासायनिक दृष्ट्या निष्क्रिय, उच्च तापमानात ऑक्सिजनपेक्षा अधिक सक्रिय, फ्लोरीनपेक्षा अधिक स्थिर आणि हाताळण्यास सोपे आहे. नायट्रोजन ट्रायफ्लोराइडचा उपयोग प्रामुख्याने प्लाझ्मा एचिंग वायू आणि रिॲक्शन चेंबर क्लिनिंग एजंट म्हणून केला जातो आणि ते सेमीकंडक्टर चिप्स, फ्लॅट पॅनल डिस्प्ले, ऑप्टिकल फायबर, फोटोव्होल्टेइक सेल इत्यादींच्या उत्पादन क्षेत्रांसाठी योग्य आहे.
इतर फ्लोरीनयुक्त इलेक्ट्रॉनिक वायूंच्या तुलनेत,नायट्रोजन ट्रायफ्ल्युओराइडयामध्ये जलद प्रतिक्रिया आणि उच्च कार्यक्षमतेचे फायदे आहेत. विशेषतः सिलिकॉन नायट्राइडसारख्या सिलिकॉनयुक्त पदार्थांच्या एचिंगमध्ये, याचा एचिंग दर आणि निवडक्षमता उच्च असते, ज्यामुळे एचिंग केलेल्या वस्तूच्या पृष्ठभागावर कोणताही अवशेष शिल्लक राहत नाही. हे एक अतिशय उत्तम स्वच्छताकारक (क्लीनिंग एजंट) देखील आहे आणि पृष्ठभागाला कोणतेही प्रदूषण करत नाही, ज्यामुळे प्रक्रिया प्रक्रियेच्या गरजा पूर्ण होऊ शकतात.
पोस्ट करण्याची वेळ: १४ सप्टेंबर २०२४
