इलेक्ट्रॉनिकविशेष वायूविशेष वायूंची एक महत्वाची शाखा आहे. ते सेमीकंडक्टर उत्पादनाच्या जवळजवळ प्रत्येक दुव्यात प्रवेश करतात आणि अल्ट्रा-मोठ्या प्रमाणात इंटिग्रेटेड सर्किट्स, फ्लॅट पॅनेल डिस्प्ले डिव्हाइस आणि सौर पेशी यासारख्या इलेक्ट्रॉनिक उद्योगांच्या उत्पादनासाठी अपरिहार्य कच्चे साहित्य आहेत.

सेमीकंडक्टर तंत्रज्ञानामध्ये, फ्लोरिनयुक्त वायू मोठ्या प्रमाणात वापरल्या जातात. सध्या, जागतिक इलेक्ट्रॉनिक गॅस मार्केटमध्ये फ्लोरिनयुक्त इलेक्ट्रॉनिक वायूंचा एकूण अंदाजे 30% आहे. फ्लोरिनयुक्त इलेक्ट्रॉनिक वायू इलेक्ट्रॉनिक माहिती सामग्रीच्या क्षेत्रातील विशेष इलेक्ट्रॉनिक वायूंचा एक महत्त्वाचा घटक आहे. ते प्रामुख्याने क्लीनिंग एजंट्स आणि एचिंग एजंट्स म्हणून वापरले जातात आणि डोपंट्स, फिल्म-फॉर्मिंग मटेरियल इत्यादी म्हणून देखील वापरले जाऊ शकतात या लेखात, लेखक आपल्याला सामान्य फ्लोरिनयुक्त वायू समजण्यासाठी घेऊन जाईल.

खाली सामान्यत: फ्लोरिनयुक्त वायू वापरल्या जातात

नायट्रोजन ट्रायफ्लोराइड (एनएफ 3): साफसफाई आणि काढून टाकण्यासाठी वापरलेला गॅस, सामान्यत: रिएक्शन चेंबर आणि उपकरणांच्या पृष्ठभागावर साफसफाईसाठी वापरला जातो.

सल्फर हेक्साफ्लोराइड (एसएफ 6): ऑक्साईड जमा प्रक्रियेत आणि इन्सुलेट मीडिया भरण्यासाठी इन्सुलेट गॅस म्हणून वापरलेला फ्लोरिनेटिंग एजंट.

हायड्रोजन फ्लोराईड (एचएफ): सिलिकॉन पृष्ठभागावरून ऑक्साईड्स काढून टाकण्यासाठी आणि सिलिकॉन आणि इतर सामग्रीचे एचिंग करण्यासाठी एक नकळ म्हणून वापरले जाते.

नायट्रोजन फ्लोराईड (एनएफ): सिलिकॉन नायट्राइड (एसआयएन) आणि अ‍ॅल्युमिनियम नायट्राइड (एएलएन) सारख्या सामग्रीचे कोरीव काम वापरले जाते.

ट्रायफ्लूरोमेथेन (सीएचएफ 3) आणिटेट्राफ्लोरोमेथेन (सीएफ 4): सिलिकॉन फ्लोराईड आणि अ‍ॅल्युमिनियम फ्लोराईड सारख्या फ्लोराईड सामग्रीचे कोरीव काम करण्यासाठी वापरले जाते.

तथापि, फ्लोरिनयुक्त वायूंमध्ये विषाक्तता, गंज आणि ज्वलनशीलता यासह काही धोके आहेत.

विषारीपणा

काही फ्लोरिनयुक्त वायू विषारी असतात, जसे की हायड्रोजन फ्लोराईड (एचएफ), ज्यांचे वाफ त्वचा आणि श्वसनाच्या मार्गावर अत्यंत त्रासदायक आहे आणि मानवी आरोग्यासाठी हानिकारक आहे.

गंज

हायड्रोजन फ्लोराईड आणि काही फ्लोराईड्स अत्यंत संक्षारक असतात आणि त्वचे, डोळे आणि श्वसनमार्गाचे गंभीर नुकसान होऊ शकतात.

ज्वलनशीलता

काही फ्लोराईड्स ज्वलनशील असतात आणि तीव्र उष्णता आणि विषारी वायू सोडण्यासाठी हवेत ऑक्सिजन किंवा पाण्याद्वारे प्रतिक्रिया देतात, ज्यामुळे आग किंवा स्फोट होऊ शकतो.

उच्च-दाब धोका

काही फ्लोरिनेटेड वायू उच्च दाबात स्फोटक असतात आणि वापरली जातात आणि संग्रहित करतात तेव्हा विशेष काळजी घेण्याची आवश्यकता असते.

वातावरणावर परिणाम

फ्लोरिन असलेल्या वायूंमध्ये वातावरणीय जीवनकाळ आणि जीडब्ल्यूपी मूल्ये आहेत, ज्याचा वातावरणीय ओझोन थरवर विनाशकारी परिणाम होतो आणि ग्लोबल वार्मिंग आणि पर्यावरणीय प्रदूषण होऊ शकते.

इलेक्ट्रॉनिक्ससारख्या उदयोन्मुख क्षेत्रात वायूंचा वापर वाढतच आहे, ज्यामुळे औद्योगिक वायूंना मोठ्या प्रमाणात नवीन मागणी मिळते. पुढील काही वर्षांत मुख्य भूमी चीनमधील सेमीकंडक्टर्स आणि डिस्प्ले पॅनेल सारख्या मोठ्या इलेक्ट्रॉनिक घटकांच्या नवीन उत्पादन क्षमतेच्या आधारे तसेच इलेक्ट्रॉनिक रासायनिक सामग्रीच्या आयात प्रतिस्थापनाची जोरदार मागणी, घरगुती इलेक्ट्रॉनिक गॅस उद्योग उच्च वाढीचा दर वाढवेल.