इलेक्ट्रॉनिकविशेष वायूविशेष वायूंची एक महत्त्वाची शाखा आहे. ते अर्धसंवाहक उत्पादनाच्या जवळजवळ प्रत्येक दुव्यामध्ये प्रवेश करतात आणि अल्ट्रा-लार्ज-स्केल इंटिग्रेटेड सर्किट्स, फ्लॅट पॅनेल डिस्प्ले उपकरणे आणि सौर सेल यांसारख्या इलेक्ट्रॉनिक उद्योगांच्या उत्पादनासाठी अपरिहार्य कच्चा माल आहेत.

सेमीकंडक्टर तंत्रज्ञानामध्ये फ्लोरिनयुक्त वायूंचा मोठ्या प्रमाणावर वापर केला जातो. सध्या, जागतिक इलेक्ट्रॉनिक गॅस मार्केटमध्ये, फ्लोरिनयुक्त इलेक्ट्रॉनिक वायूंचा वाटा एकूण 30% आहे. फ्लोरिनयुक्त इलेक्ट्रॉनिक वायू हे इलेक्ट्रॉनिक माहिती सामग्रीच्या क्षेत्रातील विशेष इलेक्ट्रॉनिक वायूंचे महत्त्वाचे घटक आहेत. ते मुख्यतः क्लिनिंग एजंट आणि एचिंग एजंट म्हणून वापरले जातात आणि डोपेंट्स, फिल्म-फॉर्मिंग मटेरियल इ. म्हणून देखील वापरले जाऊ शकतात. या लेखात, लेखक तुम्हाला फ्लोरिन-युक्त वायू समजून घेण्यासाठी घेऊन जाईल.

खालील सामान्यतः फ्लोरिनयुक्त वायू वापरतात

नायट्रोजन ट्रायफ्लोराइड (NF3): ठेवी साफ करण्यासाठी आणि काढून टाकण्यासाठी वापरला जाणारा वायू, सामान्यतः प्रतिक्रिया कक्ष आणि उपकरणे पृष्ठभाग साफ करण्यासाठी वापरला जातो.

सल्फर हेक्साफ्लोराइड (SF6): ऑक्साईड डिपॉझिशन प्रक्रियेत आणि इन्सुलेटिंग माध्यम भरण्यासाठी इन्सुलेट गॅस म्हणून वापरलेला फ्लोरिनटिंग एजंट.

हायड्रोजन फ्लोराईड (HF): सिलिकॉन पृष्ठभागावरील ऑक्साईड काढून टाकण्यासाठी आणि सिलिकॉन आणि इतर सामग्रीचे नक्षीकाम करण्यासाठी नक्षीदार म्हणून वापरले जाते.

नायट्रोजन फ्लोराईड (NF): सिलिकॉन नायट्राइड (SiN) आणि ॲल्युमिनियम नायट्राइड (AlN) सारखी सामग्री कोरण्यासाठी वापरली जाते.

ट्रायफ्लोरोमेथेन (CHF3) आणिटेट्राफ्लोरोमेथेन (CF4): सिलिकॉन फ्लोराईड आणि ॲल्युमिनियम फ्लोराईड सारख्या फ्लोराईड सामग्री कोरण्यासाठी वापरला जातो.

तथापि, फ्लोरिनयुक्त वायूंमध्ये विषारीपणा, संक्षारकता आणि ज्वलनशीलता यासह काही धोके असतात.

विषारीपणा

काही फ्लोरिनयुक्त वायू विषारी असतात, जसे की हायड्रोजन फ्लोराईड (HF), ज्याची वाफ त्वचेला आणि श्वसनमार्गाला अत्यंत त्रासदायक असते आणि मानवी आरोग्यासाठी हानिकारक असते.

संक्षारकता

हायड्रोजन फ्लोराईड आणि काही फ्लोराईड्स अत्यंत क्षरणकारक असतात आणि त्यामुळे त्वचा, डोळे आणि श्वसनमार्गाचे गंभीर नुकसान होऊ शकते.

ज्वलनशीलता

काही फ्लोराईड ज्वलनशील असतात आणि हवेतील ऑक्सिजन किंवा पाण्यावर प्रतिक्रिया देऊन तीव्र उष्णता आणि विषारी वायू सोडतात, ज्यामुळे आग किंवा स्फोट होऊ शकतो.

उच्च दाबाचा धोका

काही फ्लोरिनेटेड वायू उच्च दाबाखाली स्फोटक असतात आणि वापरताना आणि साठवताना त्यांना विशेष काळजी घ्यावी लागते.

पर्यावरणावर परिणाम

फ्लोरिनयुक्त वायूंमध्ये उच्च वातावरणीय जीवनकाल आणि GWP मूल्ये असतात, ज्याचा वातावरणातील ओझोन थरावर विध्वंसक प्रभाव असतो आणि त्यामुळे ग्लोबल वार्मिंग आणि पर्यावरणीय प्रदूषण होऊ शकते.

इलेक्ट्रॉनिक्स सारख्या उदयोन्मुख क्षेत्रात वायूंचा वापर सतत वाढत चालला आहे, ज्यामुळे औद्योगिक वायूंना मोठ्या प्रमाणात नवीन मागणी येत आहे. मुख्य भूमी चीनमध्ये सेमीकंडक्टर आणि डिस्प्ले पॅनेल यांसारख्या प्रमुख इलेक्ट्रॉनिक घटकांच्या नवीन उत्पादन क्षमतेच्या मोठ्या प्रमाणात पुढील काही वर्षांमध्ये, तसेच इलेक्ट्रॉनिक रासायनिक सामग्रीच्या आयात प्रतिस्थापनाची जोरदार मागणी यावर आधारित, घरगुती इलेक्ट्रॉनिक गॅस उद्योग सुरू होईल. उच्च वाढ दर.