इलेक्ट्रॉनिकविशेष वायूविशेष वायूंची एक महत्त्वाची शाखा आहे. ते सेमीकंडक्टर उत्पादनाच्या जवळजवळ प्रत्येक टप्प्यात वापरले जातात आणि अल्ट्रा-लार्ज-स्केल इंटिग्रेटेड सर्किट्स, फ्लॅट पॅनल डिस्प्ले उपकरणे आणि सौर पेशी यांसारख्या इलेक्ट्रॉनिक उद्योगांच्या उत्पादनासाठी अपरिहार्य कच्चा माल आहेत.

सेमीकंडक्टर तंत्रज्ञानामध्ये फ्लोरीनयुक्त वायूंचा मोठ्या प्रमाणावर वापर केला जातो. सध्या, जागतिक इलेक्ट्रॉनिक वायू बाजारपेठेत, फ्लोरीनयुक्त इलेक्ट्रॉनिक वायूंचा एकूण वाटा सुमारे ३०% आहे. इलेक्ट्रॉनिक माहिती सामग्रीच्या क्षेत्रात, फ्लोरीनयुक्त इलेक्ट्रॉनिक वायू हे विशेष इलेक्ट्रॉनिक वायूंचा एक महत्त्वाचा घटक आहेत. त्यांचा उपयोग प्रामुख्याने क्लिनिंग एजंट आणि एचिंग एजंट म्हणून केला जातो, तसेच डोपंट्स, फिल्म-फॉर्मिंग मटेरियल इत्यादींमध्येही त्यांचा वापर होऊ शकतो. या लेखात, लेखक तुम्हाला सामान्य फ्लोरीनयुक्त वायूंची ओळख करून देणार आहेत.

खालील वायू सामान्यतः वापरले जातात.

नायट्रोजन ट्रायफ्ल्युओराइड (NF3): हा एक वायू आहे जो साफसफाई करण्यासाठी आणि साचलेला थर काढून टाकण्यासाठी वापरला जातो, सामान्यतः अभिक्रिया कक्ष आणि उपकरणांचे पृष्ठभाग स्वच्छ करण्यासाठी वापरला जातो.

सल्फर हेक्साफ्लोराइड (एसएफ६)ऑक्साईड निक्षेपण प्रक्रियांमध्ये आणि विद्युतरोधक माध्यमांमध्ये भरण्यासाठी विद्युतरोधक वायू म्हणून वापरला जाणारा एक फ्लोरिनीकरण कारक.

हायड्रोजन फ्लोराइड (HF): सिलिकॉनच्या पृष्ठभागावरून ऑक्साईड काढून टाकण्यासाठी आणि सिलिकॉन व इतर पदार्थांच्या एचिंगसाठी एचंट म्हणून वापरले जाते.

नायट्रोजन फ्लोराइड (NF): सिलिकॉन नायट्राइड (SiN) आणि ॲल्युमिनियम नायट्राइड (AlN) सारख्या पदार्थांना कोरण्यासाठी वापरले जाते.

ट्रायफ्लुरोमिथेन (CHF3) आणिटेट्राफ्लोरोमिथेन (CF4)सिलिकॉन फ्लोराइड आणि ॲल्युमिनियम फ्लोराइड सारख्या फ्लोराइड पदार्थांचे एचिंग करण्यासाठी वापरले जाते.

मात्र, फ्लोरीनयुक्त वायूंमध्ये विषारीपणा, क्षरणकारकता आणि ज्वलनशीलता यांसारखे काही धोके असतात.

विषारीपणा

फ्लोरीनयुक्त काही वायू विषारी असतात, जसे की हायड्रोजन फ्लोराइड (HF), ज्याची वाफ त्वचेला आणि श्वसनमार्गाला अत्यंत त्रासदायक असून मानवी आरोग्यासाठी हानिकारक असते.

क्षरण

हायड्रोजन फ्लोराईड आणि काही फ्लोराईड अत्यंत संक्षारक असून त्यामुळे त्वचा, डोळे आणि श्वसनमार्गाला गंभीर नुकसान होऊ शकते.

ज्वलनशीलता

काही फ्लोराइड ज्वलनशील असतात आणि हवेतील ऑक्सिजन किंवा पाण्याशी अभिक्रिया करून तीव्र उष्णता आणि विषारी वायू बाहेर टाकतात, ज्यामुळे आग किंवा स्फोट होऊ शकतो.

उच्च दाबाचा धोका

काही फ्लोरिनेटेड वायू उच्च दाबाखाली स्फोटक असतात आणि त्यांच्या वापराची व साठवणुकीची विशेष काळजी घेणे आवश्यक असते.

पर्यावरणावर होणारा परिणाम

फ्लोरीनयुक्त वायूंचे वातावरणातील आयुर्मान आणि GWP मूल्ये जास्त असतात, ज्यांचा वातावरणातील ओझोन थरावर विनाशकारी परिणाम होतो आणि त्यामुळे जागतिक तापमानवाढ व पर्यावरणाचे प्रदूषण होऊ शकते.

इलेक्ट्रॉनिक्ससारख्या उदयोन्मुख क्षेत्रांमध्ये वायूंचा वापर सातत्याने वाढत असून, त्यामुळे औद्योगिक वायूंची मोठ्या प्रमाणात नवीन मागणी निर्माण होत आहे. पुढील काही वर्षांत चीनमध्ये सेमीकंडक्टर आणि डिस्प्ले पॅनेलसारख्या प्रमुख इलेक्ट्रॉनिक घटकांच्या मोठ्या प्रमाणातील नवीन उत्पादन क्षमतेमुळे, तसेच इलेक्ट्रॉनिक रासायनिक सामग्रीच्या आयातीला पर्याय देण्याच्या तीव्र मागणीमुळे, देशांतर्गत इलेक्ट्रॉनिक वायू उद्योगात उच्च वाढीचा दर दिसून येईल.